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J-GLOBAL ID:200903079738687770
赤外線センサ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
八田 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994297311
Publication number (International publication number):1996159866
Application date: Nov. 30, 1994
Publication date: Jun. 21, 1996
Summary:
【要約】【目的】 高インピーダンスの回路部分に電気誘導で侵入していた外来ノイズを低減し得る新規な赤外線センサを提供する。【構成】 本発明の赤外線センサは、赤外線の照射により感温部を加熱し、該感温部の温度変化から入射する赤外線の量を測定する熱型赤外線センサであって、センサ基板の一部に設けられた空洞部上に形成された絶縁性の薄膜部に該感温部が設けられ、該感温部の周囲を真空に保持する真空封止手段を有し、該センサ基板と同一あるいは別の基板上に、該感温部の温度変化によって、発振周波数が変化する電子回路を設け、該発振周波数の変化により入射する赤外線の量に関する情報を外部に送信するようにしたことを特徴とする。【効果】 高インピーダンスの配線の部分を短くでき、外部から高インピーダンスの配線の部分に電気誘導で侵入していたノイズを低減でき、微弱な赤外線をより正確に検出でき得る高感度センサを実現できる。
Claim (excerpt):
赤外線の照射により感温部を加熱し、該感温部の温度変化から入射する赤外線の量を測定する熱型赤外線センサであって、センサ基板の一部に設けられた空洞部上に形成された絶縁性の薄膜部に該感温部が設けられ、該感温部の周囲を真空に保持する真空封止手段を有し、該センサ基板と同一あるいは別の基板上に、該感温部の温度変化によって、発振周波数が変化する電子回路を設け、該発振周波数の変化により入射する赤外線の量に関する情報を外部に送信するようにしたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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熱型赤外線センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-343964
Applicant:株式会社村田製作所
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特開平3-094127
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放射温度計
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-187249
Applicant:松下電工株式会社
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赤外線センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-094133
Applicant:テルモ株式会社
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