自己診断用駆動部を有する半導体加速度センサー

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：倉田政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992134022
Publication number (International publication number)：1993322925
Application date： May. 26, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】半導体加速度センサーにおいて、あたかも加速度がかかったかのようにセンサーを動作させて、センサーが正常に機能しているか否かを予め確認できる自己診断駆動構造を提供する。【構成】重り部2の少なくとも一面とほぼ平行な電極6を配置し、重り部2と電極6の間に電圧を印加して重り部2に静電力を与えることにより重り部2を静電駆動可能とした。【効果】半導体加速度センサーに実際に加速度を加えなくても、前記電圧の印加により、擬似的に重り部2に加速度が加わった状態とすることができ、これにより、センサーが正常に機能しているか否かを自己診断することができる。

Claim (excerpt)：

加速度を受ける重り部と、この重り部を支持する薄肉化した起歪部とを半導体基板を加工して一体的に形成し、前記重り部の動きにより前記起歪部に起きる歪みを検出するためのピエゾ抵抗を前記起歪部に形成した半導体加速度センサーにおいて、前記重り部を静電力により駆動する静電駆動手段を設けたことを特徴とする自己診断用駆動部を有する半導体加速度センサー。

IPC (3)：

G01P 21/00 , G01P 15/12 , H01L 29/84

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平2-116755
特開平2-116755
特開平4-274766

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