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J-GLOBAL ID：200903095444739980

静電容量型加速度センサ、静電容量型角加速度センサおよび静電アクチュエータ

Inventor：
大谷 浩

About 大谷 浩


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000271805
Publication number (International publication number)：2002082127
Application date： Sep. 07, 2000
Publication date： Mar. 22, 2002
Summary：
【要約】【課題】 過剰に加速度が印加されたときであっても電極が損傷しにくい構造の静電容量型加速度センサ、静電容量型角加速度センサおよび静電アクチュエータを実現する。【解決手段】 従来の固定電極を可動電極に置き換え、両方の電極をともに可動電極とする。なお、加速度が印加されたときの第1および第2の可動電極4,7の移動量がそれぞれ異なるように、両電極の梁部3,6の剛性を調節しておく。そして、第1の可動電極4および第2の可動電極7間の静電容量の変化から加速度を検出する。これにより、過剰に加速度が印加されたときであっても電極が損傷しにくい構造の静電容量型加速度センサが実現できる。
Claim (excerpt)：
基板と、前記基板上に形成された第1の支持部と、前記基板から浮遊した状態で前記第1の支持部に支持された第1の可動電極と、前記基板上に形成された第2の支持部と、前記基板から浮遊した状態で前記第2の支持部に支持された第2の可動電極とを備え、加速度が印加されたときの前記第1および第2の可動電極の移動量がそれぞれ異なる静電容量型加速度センサ。
IPC (5)：
G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01P 15/00 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84
FI (5)：
G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/00 Z
F-Term (9)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112DA17 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 多層基板からなるセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-017750   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 静電容量式加速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-028696   Applicant：株式会社村田製作所

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