レーザ加工装置、多層プリント配線板の製造装置及び製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田下明人 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996326091
Publication number (International publication number)：1998156570
Application date： Nov. 20, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】ビルドアップ多層プリント配線板のビアホール形成に要する時間を短縮し得る多層プリント配線板の製造装置及び製造方法を提案する。【解決手段】製造装置は、レーザ発振器60、レーザ光の向きをX-Y方向へ偏向させるための2台のガルバノヘッド70A、70B、多層プリント配線板10を載置するためのX-Yテーブル80を備え、X-Yテーブル80、ガルバノヘッド70A、70Bを制御して加工を行う。ここで、該レーザ発振器60とと2台のガルバノヘッド70A、70Bとの光路間にビームスプリッター64を配設し、該ビームスプリッターによりレーザ光を分配してガルバノヘッド70A、70Bへレーザ光を供給する。

Claim (excerpt)：

加工用レーザ光源、レーザ光の向きをX-Y方向へ偏向させるための走査ヘッド、被加工物を載置するためのX-Yテーブルからなり、X-Yテーブル、走査ヘッドを制御してレーザ光にて被加工物を加工するレーザ加工装置であって、前記走査ヘッドを少なくとも2つ以上有するとともに、前記加工用レーザ光源と走査ヘッドの光路間にビームスプリッターを有し、このビームスプリッターによりレーザ光を分配して各走査ヘッドにレーザ光を供給してなることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4)：

B23K 26/06 , B23K 26/08 , H05K 3/00 , H05K 3/46

FI (4)：

B23K 26/06 C , B23K 26/08 F , H05K 3/00 N , H05K 3/46 X

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭59-189090
レーザ加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-123508 Applicant：住友重機械工業株式会社

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