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J-GLOBAL ID：200903095824076843

感光性樹脂組成物

Inventor：
内河 喜代司

About 内河 喜代司

, 
駒野 博司

About 駒野 博司


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 米田 潤三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993353690
Publication number (International publication number)：1995199465
Application date： Dec. 29, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：
【要約】【目的】 高感度かつ高解像度であり、現像マージンの高い感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 高分子バインダー、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーに光重合開始剤を加えて感光性樹脂組成物とし、光重合開始剤はアクリジン化合物と、下記の化1、化2および化3で表されるトリアジン化合物(R1 、R2 は炭素数1乃至3のアルキル基を表す)の少なくとも1種とを含むものとする。【化1】【化2】【化3】
Claim (excerpt)：
高分子バインダー、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤を含んでなる感光性樹脂組成物において、前記光重合開始剤としてアクリジン化合物と、下記の化1、化2および化3で表されるトリアジン化合物(R1 、R2 は炭素数1乃至3のアルキル基を表す)の少なくとも1種とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】
IPC (6)：
G03F 7/028 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/038 505 ,  H05K 3/06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (25)
  • 特開平4-219756
  • 特開平2-073813
  • 特開平2-001714
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Cited by examiner (25)
  • 特開平4-219756
  • 特開平4-219756
  • 特開平2-073813
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