電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：塩野入章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002007387
Publication number (International publication number)：2003208866
Application date： Jan. 16, 2002
Publication date： Jul. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】一つの装置で低倍率から高倍率まで観察する。【解決手段】電子像を二次元的に検出する二次元電子検出手段3と、この二次元電子検出手段3の前方の試料側に設け、試料Sから得られる電子の電子像を形成するレンズ系2とを備える構成とし、レンズ系2は各レンズの強さを切り替えることによって回折像又は拡大した顕微鏡像の2種の電子像を形成し、二次元電子検出手段3はレンズ系2で形成された電子像を二次元的に検出する。

Claim (excerpt)：

電子像を二次元的に検出する二次元電子検出手段と、前記二次元電子検出手段の前方の試料側に設け、試料から得られる電子の電子像を形成するレンズ系とを備え、前記レンズ系は各レンズの強さを切り替えて回折像又は拡大された顕微鏡像の電子像を形成することを特徴とする、電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/252 , G01N 23/227 , H01J 37/10 , H01J 37/244

FI (4)：

H01J 37/252 Z , G01N 23/227 , H01J 37/10 , H01J 37/244

F-Term (16)：

2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001AA09 , 2G001BA09 , 2G001BA18 , 2G001DA09 , 2G001DA10 , 2G001EA04 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001HA12 , 2G001KA12 , 2G001KA20 , 5C033NN01 , 5C033RR08 , 5C033RR09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-015537 Applicant：日本電子株式会社
二重反射電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-327990 Applicant：フォクスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
化学分析用複合放出電子顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-016530 Applicant：科学技術振興事業団, 日本電子株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

二次元表示型球面鏡アナライザについて

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