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J-GLOBAL ID：200903077505028242

化学分析用複合放出電子顕微鏡装置

Inventor： 岩澤 康裕 ,  朝倉 清高 ,  境 悠治 ,  嘉藤 誠
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  日本電子株式会社
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999016530
Publication number (International publication number)：2000215841
Application date： Jan. 26, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 内殻電子の励起を可能にし、原子の種類や価数等の化学状態に関する情報によりマッピングすることにより、微細なサンプルの表面の計測を行うことができる化学分析用複合放出電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 化学分析用複合放出電子顕微鏡装置において、内殻電子の励起高速の電子線源と、X線源10を低速電子顕微鏡の装置に組み込み、オージェ電子放出顕微鏡、または光電子顕微鏡として用い、表面原子の電子状態、化学状態の分析を可能にする。

Claim (excerpt)：

内殻電子の励起用高速の電子線源と、X線源を低速電子顕微鏡の装置に組み込み、オージェ電子放出顕微鏡、X線は光放出電子顕微鏡として用い、表面原子の電子状態、化学状態の分析を可能にすることを特徴とする化学分析用複合放出電子顕微鏡装置。

IPC (3)：

H01J 37/26 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227

FI (3)：

H01J 37/26 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227

F-Term (26)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA08 ,  2G001BA09 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001JA04 ,  2G001JA06 ,  2G001KA01 ,  2G001KA08 ,  2G001MA05 ,  2G001SA02 ,  5C033RR02 ,  5C033RR04 ,  5C033RR08 ,  5C033RR10 ,  5C033SS01 ,  5C033SS08 ,  5C033SS10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-012256   Applicant：日本電子株式会社
• 電子線分析装置及び電子線分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-325059   Applicant：株式会社日立製作所
• 直接写像型反射電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-095180   Applicant：日本電子株式会社
• 電子分光方法とこれを用いた電子分光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-205954   Applicant：工業技術院長
• 低加速走査型反射電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-330365   Applicant：日本電子株式会社
• 直接写像型リターディングフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-325597   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭61-184445
  
• 複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-016531   Applicant：科学技術振興事業団, 日本電子株式会社