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J-GLOBAL ID：200903096039219525

ウエハマウンタ

Inventor： 齋田 誠二 ,  内田 弘之 ,  和田 茂 ,  高津 知道 ,  林 隆史
Applicant, Patent owner： 東洋化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998201026
Publication number (International publication number)：2000031249
Application date： Jul. 16, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】従来のウエハマウンタでは、半導体ウエハに粘着シートを貼り付けた後、紫外線照射機へ移送して紫外線照射をしなければならなかった。【解決手段】半導体ウエハの上面又は下面に粘着シートを貼り付けるウエハマウンタにおいて、該半導体ウエハに貼り付けられた該粘着シートへ紫外線を照射する紫外線照射機を搭載する。

Claim (excerpt)：

半導体ウエハの上面又は下面に粘着シートを貼り付けるウエハマウンタにおいて、該半導体ウエハに貼り付けられた該粘着シートへ紫外線を照射する紫外線照射機を搭載したことを特徴とするウエハマウンタ。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/301

FI (2)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/78 M

F-Term (2)：

5F031KK11 ,  5F031KK15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 特開昭60-031918
  
• 特開平4-322446
  
• 基板支持具およびこれを用いた基板の異物除去方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-182861   Applicant：日東精機株式会社
• 特開昭62-219650
  
• 特開昭60-031918
  
• 特開平4-322446
  
• 特開昭62-219650