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J-GLOBAL ID：200903096084194169

イオン質量分離装置

Inventor：
桑原 一

About 桑原 一


Applicant, Patent owner：
石川島播磨重工業株式会社

About 石川島播磨重工業株式会社


Agent (2)： 山田 恒光 ,  大塚 誠一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004000925
Publication number (International publication number)：2005197041
Application date： Jan. 06, 2004
Publication date： Jul. 21, 2005
Summary：
【課題】イオン質量分離装置で生じる不要イオンがイオン質量分離装置から導出されないようにする。【解決手段】両端に入口部2と出口部3を有して湾曲し、外周に導体6xを巻いて空芯励磁電流路6を形成したイオン質量分離装置1のイオン偏向ケーシング5の出口部導体6bと重なる外側位置に外側スリット電極16を設け、外側スリット電極16にイオン質量分離装置1に印加する電圧より僅かに高い正電圧を印加して出口部3に電界による障壁を形成することにより不要イオンの導出を防止する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
両端に入口部と出口部を有して湾曲したイオン偏向ケーシングの外部に、前記入口部と出口部を通るようにイオン偏向ケーシングの曲りに沿ってイオン偏向ケーシングの幅方向に導体を巻いて空芯励磁電流路を形成し、イオンビームを入口部の導体間を通してイオン偏向ケーシングの内部に導入し、空芯励磁電流路による磁場の作用によりイオンビームをイオンの質量に応じて湾曲させ、所望の質量のイオンビームを出口部の導体間を通して導出するようにしたイオン質量分離装置であって、前記イオン偏向ケーシングの出口部導体と重なる外側位置に外側スリット電極を設け、該外側スリット電極に前記イオン質量分離装置に印加する電圧より僅かに高い正電圧を印加したことを特徴とするイオン質量分離装置。
IPC (5)：
H01J37/05 ,  C23C14/48 ,  H01J37/317 ,  H01J49/30 ,  H01L21/265
FI (5)：
H01J37/05 ,  C23C14/48 A ,  H01J37/317 Z ,  H01J49/30 ,  H01L21/265 603B
F-Term (8)：
4K029DE03 ,  4K029EA09 ,  5C033AA03 ,  5C034CC02 ,  5C034CD03 ,  5C038HH07 ,  5C038KK12 ,  5C038KK15
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (3)

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