フィルター

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金山聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001035674
Publication number (International publication number)：2002239317
Application date： Feb. 13, 2001
Publication date： Aug. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】マイクロリアクター、ケミカルチツプ、パイオチツプ、Lab-on-a-chip 、ナノチップ等の構造体におけるフィルター部で、且つ、流路内にエッチング等により形成された柱状構造体を設けたフィルター部で、特に、作製の際の洗浄に耐え、接続部分等の破損、液もれを引き起こさない構造のものを提供する。【解決手段】加工用素材である基板の表面にドライエッチング、ウエトエツチングなどの化学的処埋、あるいはレーザー、ファーストアトムビーム、イオンビームなどによるエネルギー線照射処理による加工処理を施し、表面部に突出して形成された島状の柱状物を一体として複数有する第1の基材と、前記柱状物を間に挟むように、柱状物を密閉するように接合する平板状の第2の基材とからなり、第1の基材と第2の基材とで密閉された島状の柱状物の隙間をフィルター流路として形成するもので、第1の基材への、柱状物の着床部分の面積を、1.5MHzの超音波洗浄ノズルによる超純水噴射洗浄に耐えるように、制御している。

Claim (excerpt)：

マイクロリアクター、ケミカルチツプ、パイオチツプ、Lab-on-a-chip 、ナノチップ等の構造体に形成される微小流路中に配置される、物質の分離やろ過に使用されるフィルター、あるいは、物質の分離やろ過に使用されたものをテスト等に使用するための、テストピース用のフィルターであって、加工用素材である基板の表面にドライエッチング、ウエトエツチングなどの化学的処埋、あるいはレーザー、ファーストアトムビーム、イオンビームなどによるエネルギー線照射処理による加工処理を施し、表面部に突出して形成された島状の柱状物を一体として複数有する第1の基材と、前記柱状物を間に挟むように、柱状物を密閉するように接合する平板状の第2の基材とからなり、第1の基材と第2の基材とで密閉された島状の柱状物の隙間をフィルター流路として形成するもので、第1の基材への、柱状物の着床部分の面積を、1.5MHzの超音波洗浄ノズルによる超純水噴射洗浄に耐えるように、制御していることを特徴とするフィルター。

IPC (4)：

B01D 39/00 , B81B 1/00 , G03F 7/20 506 , G03F 7/40 521

FI (5)：

B01D 39/00 A , B01D 39/00 B , B81B 1/00 , G03F 7/20 506 , G03F 7/40 521

F-Term (25)：

2H096AA30 , 2H096BA09 , 2H096CA05 , 2H096EA04 , 2H096GA08 , 2H096HA14 , 2H096HA15 , 2H096HA23 , 2H096HA24 , 2H096JA04 , 2H097CA16 , 2H097CA17 , 2H097LA20 , 4D019AA03 , 4D019AA04 , 4D019BA01 , 4D019BA04 , 4D019BA05 , 4D019BA06 , 4D019BA13 , 4D019BB01 , 4D019BD01 , 4D019BD10 , 4D019CB04 , 4D019CB06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平2-284615
特開昭61-214250
キャピラリー電気泳動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-130817 Applicant：株式会社島津製作所

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