強誘電体膜形成用溶液および強誘電体膜の形成法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：河村洌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997224701
Publication number (International publication number)：1999060211
Application date： Aug. 21, 1997
Publication date： Mar. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】周期表2族の元素を含有するPZTやPLZT膜などの強誘電体膜を形成する場合にも、結晶の析出やゲル化が生じなく、さらに溶液粘度の経時変化も小さい安定な強誘電体膜形成用溶液を提供する。【解決手段】有機溶媒に強誘電体を構成する金属の有機金属化合物が溶解されてなる溶液中に、アセチルアセトンおよび硝酸水溶液が含有せしめられて、強誘電体膜形成用溶液が形成されている。この溶液を基板上に塗布し、乾燥して焼結することにより、強誘電体膜を得る。

Claim (excerpt)：

有機溶媒と強誘電体を構成する金属の有機金属化合物とから調製される溶液中に、アセチルアセトンおよび硝酸水溶液が含有せしめられてなる強誘電体膜形成用溶液。

IPC (2)：

C01B 13/14 , H01B 3/12 301

FI (2)：

C01B 13/14 Z , H01B 3/12 301

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

チタン酸系強誘電体膜形成用組成物と形成法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-181482 Applicant：三菱マテリアル株式会社
特開平1-260870

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