半導体露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993178565
Publication number (International publication number)：1995130613
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】チャンバ内に取り込まれるガス状化学物質を除去する。【構成】露光装置本体と、これが内部に配置されたチャンバ1と、このチャンバの空調を行う空調機室10とを備えた半導体露光装置において、前記空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去する装置cfを設ける。

Claim (excerpt)：

露光装置本体と、これが内部に配置されたチャンバと、このチャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置において、前記空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去する装置を設けたことを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 514 E , H01L 21/30 502 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-139453
特開昭62-181426
特開平3-129720

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