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J-GLOBAL ID：200903094599371265

露光装置

Inventor： 宮地 章 ,  松本 由佳子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993002956
Publication number (International publication number)：1994077114
Application date： Jan. 12, 1993
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】光学材料の曇りによる照度低下を防止する。【構成】装置本体はチャンバー6内に設けられている。チャンバー内には空調手段7が設けられており、イオン、ガス、有機物等の不純物を除去するフィルターFLをチャンバーの空気取り込み口A1、A2、もしくは空調手段の空気取り込み口A3、A4、A5に設けた。

Claim (excerpt)：

紫外域の光を射出する光源と前記光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と前記マスクの像を所定の感光性物質が塗布された基板上に形成する露光部と装置全体を収納するチャンバーと前記チャンバー内を空調する空調手段とを有し、前記紫外域の光と光化学反応を引き起こす不純物を除去する不純物除去フィルターとを有し、前記不純物除去フィルターを前記チャンバー内の空気取り込み口もしくは空調手段の吸排出口に設けたことを特徴とする露光装置。

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 301 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 縮小投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-086734   Applicant：菊池嘉文
• 投影露光装置及び露光方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-146076   Applicant：富士通株式会社
• 環境制御装置および環境制御方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-066512   Applicant：松下電器産業株式会社