導電性酸化物およびそれを用いた電極

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：塩澤寿夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995065840
Publication number (International publication number)：1996245220
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Sep. 24, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】光学的吸収端が400nmより短波長にあって、膜厚によらず透明な膜を提供でき、かつ良好な電気伝導率を有する新規な材料および電極の提供。【構成】一般式M(1)x M(2)y Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、M(1)はMg及びZnのうちの少なくとも1つの元素であり、M(2)はAl及びGaのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が0.2〜1.8:1の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが(x+3y/2+3z/2) の3×10-5〜1×10-1倍の範囲である)で表される導電性酸化物。前記一般式(但し、dの下限は0)で表され、かつM(1)、M(2)及びInのうちの少なくとも1種の元素の一部が、他の元素で置換されており、M(1)と置換される元素は原子価が2価以上であり、M(2)及びInと置換される元素は原子価が3価以上である導電性酸化物。

Claim (excerpt)：

一般式M(1)x M(2)y Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、M(1)はマグネシウム及び亜鉛のうちの少なくとも1つの元素であり、M(2)はアルミニウム及びガリウムのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が0.2〜1.8:1の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが(x+3y/2+3z/2) の3×10-5〜1×10-1倍の範囲である)で表されることを特徴とする導電性酸化物。

IPC (3)：

C01G 15/00 , H01L 21/285 301 , H01L 31/04

FI (4)：

C01G 15/00 B , C01G 15/00 D , H01L 21/285 301 Z , H01L 31/04 H

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

透明電気伝導性酸化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-079215 Applicant：新技術事業団

Cited by examiner (1)

透明電気伝導性酸化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-079215 Applicant：新技術事業団

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

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