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J-GLOBAL ID：200903096303971710

物品保持装置

Inventor：
越田 充彦

About 越田 充彦


Applicant, Patent owner：
京セラ株式会社

About 京セラ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996043868
Publication number (International publication number)：1997237824
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：
【要約】【課題】物品との当接面における摩耗を低減するとともに、物品への塵や摩耗粉等の異物の付着量を低減する。また、当接面に帯電する静電気を速やかに除去できるようにする。【解決手段】少なくとも保持面がセラミックスからなる真空チャック、搬送アーム、サセプタなどの物品保持装置において、上記保持面にジルコニウム、タングステン、チタンのうち一種以上の金属および珪素を含有する非晶質硬質炭素膜を被覆する。
Claim (excerpt)：
少なくとも物品を吸着または載置して保持する保持面がセラミックスからなる物品保持装置において、上記保持面にジルコニウム、タングステン、チタンのうち一種以上の金属および珪素を含有してなる非晶質硬質炭素膜を被覆したことを特徴とする物品保持装置。
IPC (3)：
H01L 21/68 ,  B25B 11/00 ,  B25J 15/06
FI (3)：
H01L 21/68 N ,  B25B 11/00 A ,  B25J 15/06 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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