金属膜の製造方法及び金属膜の製造装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上柳雅誉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002081213
Publication number (International publication number)：2003283102
Application date： Mar. 22, 2002
Publication date： Oct. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】液滴吐出法を用いて配線パターンなどの金属膜を形成する際、スループットの低下を招かずに効率良く金属膜を形成できる金属膜の製造方法及び金属膜の製造装置を提供する。【解決手段】基板Pに対して液滴吐出ヘッド20から金属を含むインクを吐出して基板Pに配線パターンを形成する際、金属固形分含有量が50wt%以上70wt%以下に設定されているインクを用いる。

Claim (excerpt)：

所定面に対して液滴吐出ヘッドから金属を含む流動体を吐出して前記所定面に金属膜を形成する工程を有する金属膜の製造方法において、前記流動体に含まれる前記金属の量を50wt%以上70wt%以下に設定し、該流動体を前記所定面に吐出することを特徴とする金属膜の製造方法。

IPC (10)：

H05K 3/10 , B05C 5/00 101 , B05C 9/14 , B05D 1/26 , B05D 5/12 , H01B 13/00 503 , H01L 21/288 , H05B 33/10 , H05B 33/14 , H05B 33/26

FI (10)：

H05K 3/10 D , B05C 5/00 101 , B05C 9/14 , B05D 1/26 Z , B05D 5/12 B , H01B 13/00 503 D , H01L 21/288 Z , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H05B 33/26 Z

F-Term (66)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 4D075AC06 , 4D075AC08 , 4D075AC96 , 4D075BB22X , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DC18 , 4D075DC22 , 4D075EA10 , 4D075EA14 , 4D075EB01 , 4D075EC30 , 4D075EC54 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041AB05 , 4F041BA10 , 4F041BA22 , 4F041BA32 , 4F041BA38 , 4F041BA48 , 4F042AA07 , 4F042AB03 , 4F042BA15 , 4F042BA16 , 4F042CB11 , 4F042DF09 , 4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB36 , 4M104DD51 , 5E343AA12 , 5E343AA26 , 5E343AA34 , 5E343BB23 , 5E343BB24 , 5E343BB25 , 5E343BB28 , 5E343BB34 , 5E343BB35 , 5E343BB40 , 5E343BB44 , 5E343BB45 , 5E343BB48 , 5E343BB49 , 5E343BB72 , 5E343DD14 , 5E343DD15 , 5E343FF05 , 5E343GG06 , 5E343GG11 , 5G323CA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭64-064290
吐出式描画装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-007294 Applicant：松下電器産業株式会社
液滴噴射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-035309 Applicant：日本電気株式会社

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