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J-GLOBAL ID：200903096417094060

透明材料のレーザー微細加工法

Inventor： 王 俊 ,  新納 弘之 ,  矢部 明
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院物質工学工業技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998265837
Publication number (International publication number)：2000094163
Application date： Sep. 21, 1998
Publication date： Apr. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 レーザー照射で透明材料を簡便にかつ精密に微細加工できる方法を提供する。【解決手段】 レーザー波長に強い吸収を持つ流動性物質を透明材料裏面に接触させ、透明材料表面からレーザーを照射して、透明材料を微細エッチングする方法。

Claim (excerpt)：

流動性物質を透明材料の裏面に接触させ、透明材料の表面から強度範囲が0.01J/cm2/pulseから100J/cm2/pulseまでのレーザーを照射することを特徴とする透明材料の微細加工法。

IPC (2)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/12

FI (2)：

B23K 26/00 A ,  B23K 26/12

F-Term (9)：

4E068AB01 ,  4E068AH00 ,  4E068CA01 ,  4E068CA02 ,  4E068CH08 ,  4E068CJ07 ,  4E068DB00 ,  4E068DB11 ,  4E068DB13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-180088
  
• 特開昭62-183981
  
• 透明体のレーザ加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-121341   Applicant：日本板硝子株式会社