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J-GLOBAL ID：200903096431845191

変動圧力センサ

Inventor：
下田 英司

About 下田 英司

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山本 宏

About 山本 宏

, 
八木 文雄

About 八木 文雄


Applicant, Patent owner：
日本フローセル製造株式会社

About 日本フローセル製造株式会社


Agent (1)： 萩原 康弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000191332
Publication number (International publication number)：2002005771
Application date： Jun. 26, 2000
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】 フルイディックス式の流体発振器による流量計やカルマン渦流量計において振動圧力を検出するなどの、微小な圧力変動を検出するのに適した変動圧力センサを提供する。【解決手段】 両面に電極層を設けたプラスチックフィルムの圧電体を平面状の支持体に貼り合わせた圧電素子を環状の縁部の内側が凹部になっている2個の同形状の空隙をもつ容器により両面から挟んで保持したものであって、前記それぞれの空隙をもつ容器の縁部には溝が形成されて弾性体ガスケットが収容され、前記弾性体ガスケットは圧電素子を挟み込む前において溝の内周壁には接するが外周壁とは空隙を有し、前記空隙をもつ容器により圧電素子を挟んで保持することにより前記弾性体ガスケットは溝の外周壁に向けて変形して圧電素子を緊張せしめ、前記それぞれの空隙をもつ容器の凹部に設けた流体導入口から流体圧力を導入する。
Claim (excerpt)：
両面に電極層を設けた圧電効果をもつフィルム状の圧電体を平面状の支持体の片面または両面に貼り合わせたものを少なくとも有する圧電素子を、環状の縁部の内側が凹部になっている2個の空隙をもつ容器により両面から挟んで保持したものであって、前記それぞれの空隙をもつ容器の縁部にはガスケット溝が形成されて弾性体ガスケットが収容され、前記弾性体ガスケットは圧電素子を挟み込む前においてガスケット溝の内周壁には接するが外周壁とは空隙を有し、前記空隙をもつ容器により圧電素子を挟んで保持することにより前記弾性体ガスケットは溝の外周壁に向けて変形して圧電素子を緊張せしめ、前記それぞれの空隙をもつ容器の凹部に設けた流体導入口からの流体圧力の変動に応じて発生する圧電素子の起電力を圧力信号とすることを特徴とする変動圧力センサ。
IPC (4)：
G01L 23/10 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/32 ,  H01L 29/84
FI (4)：
G01L 23/10 ,  G01F 1/20 E ,  G01F 1/32 L ,  H01L 29/84 Z
F-Term (17)：
2F030CA04 ,  2F030CH01 ,  2F030CH03 ,  2F030CH05 ,  2F055AA39 ,  2F055BB06 ,  2F055BB14 ,  2F055CC11 ,  2F055DD11 ,  2F055EE23 ,  2F055FF11 ,  2F055GG01 ,  2F055HH05 ,  4M112AA01 ,  4M112BA10 ,  4M112CA02 ,  4M112EA14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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