感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992187956
Publication number (International publication number)：1994035190
Application date： Jul. 15, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】光感度が高く、レジスト画像の密着性、解像性、保存安定性にすぐれすそ長さの短いレジスト画像を形成する感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和基を有する化合物、(C)一般式(I)等で表わされる光開始剤(R1はヘキシレン基等)を含有してなるアルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物及びこれを支持体上に塗布、乾燥した積層体。

Claim (excerpt)：

(A)カルボキシル基含有ポリマー40〜80重量部、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和基を有する化合物20〜60重量部((A)と(B)との総量が100重量部となるようにする)、(C)一般式(I)で表わされる光開始剤を前記(A)と(B)との総量100重量部に対し0.05〜1.0重量部、【化1】(式中、R1は炭素原子数6〜12のアルキレン基を表わす)(D)一般式(II)で表わされる光開始剤を前記(A)と(B)との総量100重量部に対し1.0〜10.0重量部【化2】(式中、Ar1及びAr2はそれぞれ独立して、無置換フェニル基又は炭素原子1〜3のアルキル基若しくは炭素原子数1〜3のアルコキシ基で置換されたフェニル基を表わし、R2およびR3はそれぞれ独立して、炭素原子数1〜9のアルキル基を表わす)及び(E)一般式(III)で表わされる光開始剤を前記(A)と(B)との総量100重量部に対し0.01〜3.0重量部含有してなるアルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物。【化3】(式中、R4、R5、R6及びR7はそれぞれ独立して水素原子又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表わす)

IPC (5)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 512 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-136942
特開平2-294302
特開平4-301644

Show all

Return to Previous Page