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J-GLOBAL ID：200903096635585741

リフトオフ法用ネガ型感光性樹脂組成物及びドライフィルム

Inventor：
西田 知之

About 西田 知之


Applicant, Patent owner：
互応化学工業株式会社

About 互応化学工業株式会社


Agent (1)： 西川 惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002009157
Publication number (International publication number)：2003207904
Application date： Jan. 17, 2002
Publication date： Jul. 25, 2003
Summary：
【要約】【課題】 広範囲なレジスト膜厚条件下において、その硬化皮膜端がオーバーハング又はバックテーパ様の形状をなし、該硬化皮膜端において、皮膜上面と側面が交差する線と、下端と基材が交差する線とを含む面が、現像により露出した基材面と形成する角度θを所望の範囲に制御することが容易であり、導体パターン等の精細な再現が可能であるリフトオフ法用ネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記(a)群から選ばれる少なくとも1種の光重合開始剤と下記(b)群から選ばれる少なくとも1種の光重合開始剤を(a):(b)の重量比が1:10〜10:1となるように含有してなる光重合開始剤成分、(a)ベンゾフェノン類、チオキサントン類、ビイミダゾール類(b)アセトフェノン類、アシルフォスフィンオキサイド類(B)アルカリ可溶性樹脂、及び(C)希釈剤を含有してなる感光性樹脂組成物2である。
Claim (excerpt)：
(A)下記(a)群から選ばれる少なくとも1種の光重合開始剤と下記(b)群から選ばれる少なくとも1種の光重合開始剤を(a):(b)の重量比が1:10〜10:1となるように含有してなる光重合開始剤成分、(a)ベンゾフェノン類、チオキサントン類、ビイミダゾール類(b)アセトフェノン類、アシルフォスフィンオキサイド類(B)アルカリ可溶性樹脂、及び(C)希釈剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、選択露光により形成される硬化皮膜の膜厚が0.5〜500μmであるときに、硬化皮膜端がオーバーハング又はバックテーパ様の形状をなし、該硬化皮膜端において、硬化皮膜上面と側面が交差する線と、硬化皮膜下端と基材が交差する線とを含む面が、現像により露出した基材面と形成する角度θが85°〜45°であることを特徴とするリフトオフ法用ネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (10)：
G03F 7/26 513 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/00 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3205 ,  H05K 3/02
FI (10)：
G03F 7/26 513 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F290/00 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/02 A ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/88 G
F-Term (139)：
2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA09 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC08 ,  2H025FA44 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA28 ,  4J011CA08 ,  4J011CB03 ,  4J011CC10 ,  4J011PA53 ,  4J011PA65 ,  4J011PA66 ,  4J011PA69 ,  4J011PA86 ,  4J011PA88 ,  4J011PA90 ,  4J011PA95 ,  4J011PA99 ,  4J011PB28 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA04 ,  4J011QA07 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA18 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA32 ,  4J011QA34 ,  4J011QA38 ,  4J011QA45 ,  4J011QA46 ,  4J011QB03 ,  4J011QB19 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011SA02 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA54 ,  4J011SA56 ,  4J011SA57 ,  4J011SA64 ,  4J011SA75 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011SA89 ,  4J011TA07 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA02 ,  4J026AA17 ,  4J026AA26 ,  4J026AA31 ,  4J026AA43 ,  4J026AA44 ,  4J026AA45 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026AA54 ,  4J026AA57 ,  4J026AA61 ,  4J026AA76 ,  4J026AB02 ,  4J026AB04 ,  4J026AB07 ,  4J026AB11 ,  4J026AB19 ,  4J026AB44 ,  4J026BA26 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA34 ,  4J026BA36 ,  4J026DA02 ,  4J026DA12 ,  4J026DB02 ,  4J026DB06 ,  4J026FA05 ,  4J026GA07 ,  4J027AA01 ,  4J027AA02 ,  4J027AE02 ,  4J027AE03 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA19 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027BA27 ,  4J027BA28 ,  4J027BA29 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD06 ,  4J027CD10 ,  5E339AB05 ,  5E339BC01 ,  5E339BE20 ,  5E339CF18 ,  5F033HH07 ,  5F033HH13 ,  5F033HH17 ,  5F033PP19 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ42 ,  5F033VV00 ,  5F033WW00 ,  5F033WW02 ,  5F033WW04 ,  5F033XX33
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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