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J-GLOBAL ID：200903096720554952
固体撮像装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996147246
Publication number (International publication number)：1997331055
Application date： Jun. 10, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 垂直CCDレジスタの転送電極に駆動パルスを供給するための金属配線が、垂直CCDレジスタに沿って設けられ、かつ、スミア特性が改善される固体撮像装置を提供する。【解決手段】 垂直CCDレジスタを覆う給電を兼ねた導電性遮光膜であるシャント配線12を、垂直方向に隣接する光電変換部11間部分に張り出させ、かつ、隣り合うシャント配線12の張り出し部分の間隔を0.2μm以下にし、かつ、隣合うシャント配線12が短絡することのない間隔である、電界が107 V/cm以下になる間隔に限定する。
Claim (excerpt)：
複数の光電変換部と、該光電変換部の電荷を電荷読み出し領域を介して受け取って転送する垂直CCDレジスタと、該垂直CCDレジスタからの電荷を受け取って転送する水平CCDレジスタと、該水平CCDレジスタからの電荷を検出する電荷検出部と、該電荷検出部からの電荷を増幅して出力する出力増幅器とを有し、前記垂直CCDレジスタの垂直転送電極に駆動パルスを供給するための金属配線が、前記垂直CCDレジスタに沿って配設されている固体撮像装置において、前記金属配線が、垂直方向に隣接する前記光電変換部間の領域で張り出して形成されており、かつ、隣合う前記金属配線の張り出し部分の間隔が0.2μm以下であることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 Q
Cited by examiner (1)
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固体撮像装置の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-341333
Applicant：ソニー株式会社
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