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J-GLOBAL ID：200903096872908628

反射防止組成物及びこれを用いる感光膜の形成方法

Inventor： 西 峰雄 ,  寺本 正史
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996056314
Publication number (International publication number)：1997244238
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 諸特性に優れた反射防止膜を与える反射防止組成物を提供する。【解決手段】 同一分子内に二つのカルボキシル基を有するアミノ酸が縮重合した高分子を含有する反射防止組成物。

Claim (excerpt)：

基板とフォトレジスト膜との間に介在させる反射防止膜を形成するための反射防止組成物であって、溶媒、吸光材料及び同一分子内に二つのカルボキシル基を有するアミノ酸が縮重合したポリマーを含有することを特徴とする反射防止組成物。

IPC (3)：

G03F 7/004 506 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/004 506 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/30 574

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ハレーション止め組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-328816   Applicant：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド