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J-GLOBAL ID：200903097558108290

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 森本 高史 ,  黒田 浩史 ,  村山 健
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998148334
Publication number (International publication number)：1999326347
Application date： May. 13, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡で、試料表面の凹凸部の形状を表すことができると共に凹凸部のエッジを特定でき、凹凸部の幅寸法等を正確に測定できるようにする。【構成】 試料11に対向する探針15と、試料11と探針15の間に相対変位を与えるトライポッド12と、探針と試料の間に生じる物理量を検出する光学的変位検出装置(17,18 )を備える。さらに探針と試料の間に生じる物理量を設定値s0に保つ制御回路20と、当該制御回路から得られる信号s2と、探針・試料間に生じる物理量および設定値の間の偏差信号Δsとを合成して凹凸情報とエッジ特定情報を含む信号s3を出力する減算器22とを備えている。

Claim (excerpt)：

試料に対向する探針と、前記試料と前記探針の間に相対変位を与える手段と、前記探針と前記試料の間に生じる物理量を検出する検出手段を有する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針と前記試料の間に生じる前記物理量を設定値に保つ制御手段と、当該制御手段から得られる信号と、探針・試料間に生じる物理量および設定値の間の偏差信号とを合成して凹凸情報とエッジ特定情報を含む信号を出力する合成手段と、を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-267548   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社