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J-GLOBAL ID：200903097703194051

圧電体薄膜素子

Inventor： 角 浩二
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998339343
Publication number (International publication number)：2000164947
Application date： Nov. 30, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 単体の反強誘電体膜を備えた圧電体薄膜素子を提供する。【解決手段】 本発明に係わる圧電体薄膜素子は、上部電極17と下部電極14に挟まれる反強誘電体膜16を備える圧電体薄膜素子であって、下部電極14と反強誘電体膜16の間にPbZrxTi1-xO3(0.5≦x≦0.7)を組成とする密着層15を備えることを特徴とする。この密着層15上に単体の(チタンを含有していない)反強誘電体膜16を成膜しても反強誘電体膜16が密着層15から剥離することがない。また、密着層15の結晶構造は反強誘電体膜16の結晶構造と整合性があるため、密着層15として優れた特性を有する。

Claim (excerpt)：

上部電極と下部電極間に挟まれる反強誘電体膜を備える圧電体薄膜素子において、前記下部電極と前記反強誘電体膜の間にジルコン酸チタン酸鉛を主成分とする薄膜を備える、圧電体薄膜素子。

IPC (7)：

H01L 41/083 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (6)：

H01L 41/08 S ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

F-Term (14)：

2C057AF34 ,  2C057AG14 ,  2C057AG44 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP32 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• インクジェット記録装置とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-161836   Applicant：松下電器産業株式会社