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J-GLOBAL ID：200903097722665545

電子サイクロトロン共鳴プラズマによる電子放出カ-ボンフィルムの蒸着方法

Inventor：
マルク ドゥローネイ

About マルク ドゥローネイ

, 
マリー-ノエル スメリア

About マリー-ノエル スメリア


Applicant, Patent owner：
コミツサリア タ レネルジー アトミーク

About コミツサリア タ レネルジー アトミーク


Agent (1)： 園田 吉隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999179091
Publication number (International publication number)：2000045071
Application date： Jun. 24, 1999
Publication date： Feb. 15, 2000
Summary：
【要約】【課題】 大表面フラットパネルのための製造方法を得る。【解決手段】 内部に電子サイクロトロン共鳴領域(9)を形成するプラズマチャンバにマイクロ波を照射し、混合ガスを10-4から10-3mbarの低圧化でイオン化し、イオンと電子を磁力線(6)に沿って基板(3)の方向に拡散させる導電性で電子を放出するカーボンフィルムを形成する電子サイクロトロン共鳴プラズマ蒸着方法であって、混合ガスは有機材料の分子と水素分子を含み、当該方法は、-基板(3)を昇温し、-有機材料の分子の電子サイクロトロン共鳴に対応する磁界の強さで混合ガスのイオンからプラズマを発生させ、-基板を正またはゼロの電位に分極して、プラズマと基板の間に正の電位差を生じさせ、-電子放射材料の蒸着がおきる温度まで昇温された基板に向けてプラズマを拡散させる工程を含む方法。
Claim (excerpt)：
内部に電子サイクロトロン共鳴領域を形成するプラズマチャンバにマイクロ波を照射し、混合ガスを10-4から10-3mbarの低圧化でイオン化し、イオンと電子を磁力線に沿って基板の方向に拡散させる導電性で電子を放出するカーボンフィルムを形成する電子サイクロトロン共鳴プラズマ蒸着方法であって、混合ガスは有機材料の分子と水素分子を含み、当該方法は、基板を昇温し、有機材料の分子の電子サイクロトロン共鳴に対応する磁界の強さで混合ガスのイオンからプラズマを発生させ、基板を正またはゼロの電位に分極して、プラズマと基板の間に正の電位差を生じさせ、電子放射材料の蒸着がおきる温度まで昇温された基板に向けてプラズマを拡散させる工程を含む方法。
IPC (5)：
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/04 101 ,  C23C 16/50 ,  H05H 1/46
FI (5)：
C23C 16/26 Z ,  C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/04 101 Z ,  C23C 16/50 E ,  H05H 1/46 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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