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J-GLOBAL ID:200903097751849930
ナノ構造体、多孔質ナノ構造体および機能性ナノ構造体、並びにそれらの製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
飯田 敏三
, 佐々木 渉
, 宮前 尚祐
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005160022
Publication number (International publication number):2006334693
Application date: May. 31, 2005
Publication date: Dec. 14, 2006
Summary:
【課題】低コストで大面積の規則的なナノパターンを形成しうるナノ構造体、多孔質ナノ構造体および機能性ナノ構造体、並びにそれらの製造方法を提供する。【解決手段】ソフトリソグラフィ法を用いて基板(3)上に形成されたナノ構造体(1)であって、二種のポリマー成分からなり規則的な相分離構造を有するブロック共重合体から構成される少なくとも1つのサブ構造部(2)を含むナノ構造体(1)。【選択図】図1
Claim (excerpt):
ソフトリソグラフィ法を用いて基板上に形成されたナノ構造体であって、二種のポリマー成分からなり規則的な相分離構造を有するブロック共重合体から構成される少なくとも1つのサブ構造部を有してなるナノ構造体。
IPC (3):
B82B 1/00
, B82B 3/00
, C08L 101/00
FI (3):
B82B1/00
, B82B3/00
, C08L101/00
F-Term (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent:
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