マクロ画像検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木内修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995110006
Publication number (International publication number)：1996285782
Application date： Apr. 11, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】散乱反射光観察と正反射光観察との切換を迅速に行うことができるようにすること、並びに検査装置の設置環境の変化による検査結果のばらつきの防止、検査時間の短縮を図る。【構成】半導体ウエハ1に対して上方から照明光を照射する照明装置2と、半導体ウエハ1に対して斜め方向から照明光を照射する照明装置8と、半導体ウエハ1を傾斜且つ回転させるステージ3とを備えているので、マクロ検査すべき半導体ウエハ1の欠陥の種類が変って、正反射光観察から散乱反射光観察へ、又は散乱反射光観察から正反射光観察へと観察方法を切り換えなければならなくなったとしても、その都度照明装置を動かして照明方向を変える必要がなくなり、迅速に観察方法を切り換えることができるとともに、散乱反射光観察と正反射光観察とを同時に行うこともできる。

Claim (excerpt)：

試料に対して上方から照明光を照射する第1の照明手段と、前記試料を傾斜させる傾斜手段と、前記試料を回転させる回転手段と、前記試料を撮像し、試料画像データを出力する撮像手段と、前記撮像手段からの前記試料画像データを表示する表示手段とを備えたマクロ画像検査装置において、前記試料に対して斜め方向から照明光を照射する第2の照明手段を備えていることを特徴とするマクロ画像検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭61-137050
特開昭62-042039
特開昭61-187637

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