静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：志賀正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000010693
Publication number (International publication number)：2001201348
Application date： Jan. 19, 2000
Publication date： Jul. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】電極周りで発生する電気的ノイズを抑制し、S/N比の向上によって検出感度の向上を図ることのできる静電容量検出型センサを提供する。【解決手段】本発明のジャイロスコープ1は、3本の脚9を有する音叉6と、両ガラス基板2,3上に設けられた駆動用電極4と検出用電極5と、駆動用電極4に駆動信号を供給する駆動用フィードスルー7と、検出用電極5からの検出信号を取り出す検出用フィードスルー8とを備えている。そして、駆動用フィードスルー7、検出用フィードスルー8が配列された隣接するフィードスルー間に、これらフィードスルー間を静電的に遮蔽する検出-駆動間遮蔽部19、検出-検出間遮蔽部20、駆動-駆動間遮蔽部21がそれぞれ設けられている。

Claim (excerpt)：

構造体と、該構造体を駆動する少なくとも一つの駆動用電極と、該駆動用電極に駆動信号を供給する少なくとも一つの駆動用線路部と、前記駆動用電極により駆動された前記構造体の変位を静電容量の変化に基づいて検出する少なくとも一つの検出用電極と、該検出用電極からの検出信号を伝送する少なくとも一つの検出用線路部とを備え、前記駆動用電極と前記検出用電極との間、もしくは前記駆動用線路部と前記検出用線路部との間に、これら電極間もしくは線路部間を静電的に遮蔽する遮蔽部材が設けられたことを特徴とする静電容量検出型センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

F-Term (8)：

2F105AA02 , 2F105AA10 , 2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105CC01 , 2F105CD03 , 2F105CD13 , 2F105CD20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-221734 Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
表面マイクロマシンおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-019053 Applicant：アイシン精機株式会社
音さ制御ジヤイロの電極パターン
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-019513 Applicant：スエデイツシユ・オードナンス-エフエフヴイ/ボツフオース・エービー

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Cited by examiner (4)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-221734 Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-019053 Applicant：アイシン精機株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-019513 Applicant：スエデイツシユ・オードナンス-エフエフヴイ/ボツフオース・エービー

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