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J-GLOBAL ID：200903011277643593

角速度センサ

Inventor：
松広 泰

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伊藤 岳志

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頼永 宗男

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浅海 一志

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吉野 好

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三浦 和彦

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Applicant, Patent owner：
株式会社日本自動車部品総合研究所

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株式会社デンソー

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Agent (1)： 伊藤 求馬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996221734
Publication number (International publication number)：1998047971
Application date： Aug. 05, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：
【要約】【課題】 半導体基板上に振動子や配線等を形成した小型の角速度センサにおいて、駆動部と検知部の間の信号の回り込みによるノイズの発生を完全に防止して駆動信号を安定させること、検知の精度を向上させることを目的とする。【解決手段】 半導体基板1をエッチングして該基板1面内に半導体振動子2を形成し、その表面に、駆動用素子31、32、33、34とフィードバック素子5、検知用素子61、62を形成する。フィードバック素子5と検知用素子61、62の電極配線85、86、87の表面をシールド膜9で覆うことで、駆動用素子31、32、33、34の電極配線81、82、83、84に対してシールドすることができ、信号の回り込みを確実に防止する。
Claim (excerpt)：
半導体基板をエッチングして該基板面内に半導体振動子を形成するとともに、該半導体振動子表面に、上記半導体振動子を振動励振する振動励振部と、上記半導体振動子の振動を検知する振動検知部とを形成した角速度センサにおいて、上記振動励振部に接続される電極配線または上記振動検知部に接続される電極配線の少なくともいずれか一方の表面をシールド膜で覆って、他の一方の電極配線からシールドしたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (16)
  • 音さ制御ジヤイロの電極パターン
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-019513   Applicant：スエデイツシユ・オードナンス-エフエフヴイ/ボツフオース・エービー
  • 力学センサ及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-158056   Applicant：キヤノン株式会社
  • 半導体角速度センサとその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-306463   Applicant：日本航空電子工業株式会社
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