Pat

J-GLOBAL ID：200903097981711474

XYステージ装置

Inventor： 杉峰 正信 ,  小梁川 靖 ,  冨田 良幸 ,  牧野 健一
Applicant, Patent owner： 住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995231708
Publication number (International publication number)：1997074734
Application date： Sep. 08, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高速移動及び精密な位置決めが可能なXYステージ装置を提供する。【解決手段】 支持部材と、仮想的な可動面内で平行移動可能に、前記支持部材に取り付けられたステージ部材と、前記可動面に平行な仮想平面の両側で、前記仮想平面に関して対称な駆動力を発生し、前記ステージ部材に前記可動面内の駆動力を印加する第1のリニアモータとを有する。

Claim (excerpt)：

支持部材と、仮想的な可動面内で平行移動可能に、前記支持部材に取り付けられたステージ部材と、前記可動面に平行な仮想平面の両側で、該仮想平面に関して対称な駆動力を発生し、前記ステージ部材に前記可動面内の推力を与える第1のリニアモータとを有するXYステージ装置。

IPC (2)：

H02K 41/03 ,  H02P 7/00 101

FI (2)：

H02K 41/03 A ,  H02P 7/00 101 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• XYステージ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-191040   Applicant：日本電気株式会社
• 特開昭62-254681
  
• 特開昭55-139071