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J-GLOBAL ID:200903098036256155

画像処理方法及び画像処理装置並びに外観検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 恩田 博宣 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999243179
Publication number (International publication number):2001067479
Application date: Aug. 30, 1999
Publication date: Mar. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 被対象物の表面に存在する欠陥に対する良否判断を精度良く、しかも機械によって自動的に行うことができる画像処理方法及び画像処理装置並びに外観検査装置を提供する。【解決手段】 画像処理装置は、ガラス基板16から情報を入力するためのラインCCDセンサ18と、そのセンサ18からの情報により良品と不良品とを判別する制御装置21と、その制御装置21の情報を出力して警告するアラーム22とを備えている。制御装置21において、メモリ上の画像情報に対し、正方形の複数の検査領域と、その検査領域をさらに正方形に分割した複数の分割領域が設けられる。そして、各分割領域での信号強度値の積算値と、その積算値の全平均値を算出し、その全平均値に対して各分割領域の積算値の分散を求め、その分散がしきい値を越えた場合にメモリ上に欠陥として記録される。
Claim (excerpt):
被対象物から入力手段を介して制御装置の中央処理装置(CPU)が読み取り可能なメモリ上に画像情報を記録し、この画像情報上に複数の検査領域を設け、その検査領域を分割して複数の分割領域を設定し、各分割領域について信号強度値の積算値又は平均値を算出し、全ての分割領域について前記積算値又は平均値を平均して全平均値を算出し、各分割領域の信号強度値の積算値又は平均値と全平均値とから、各検査領域における分散を求め、この分散が予め定められたしきい値を越えた場合にメモリ上に欠陥を意味する符号を記録し、それを出力手段により出力する画像処理方法。
IPC (4):
G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/958 ,  G01N 33/38
FI (4):
G06F 15/62 400 ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/958 ,  G01N 33/38
F-Term (26):
2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA15 ,  2G051EA01 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC03 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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