液体塗布装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：滝本智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998077057
Publication number (International publication number)：1999267567
Application date： Mar. 25, 1998
Publication date： Oct. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】吐出口から吐出される液体流の曲がりやバラツキを低減して、塗布面の全面に均一な液体層を形成できるようにする。【解決手段】塗布腕4の内部に、軸方向に延びる液体供給路43と、一端が液体供給路43に連通し他端が塗布腕4の外面に開放されて吐出口46となる多数の吐出路45と、多数の吐出路45と液体供給路43との間にそれぞれ配置され液体供給路43から吐出路45に向かう液体の流線に沿う形状を有する流線案内路44とを備え、隣接する流線案内路44同士が流体供給路43側で互いに接して配置されている。

Claim (excerpt)：

間隔をあけて並設された多数の吐出口から液体を吐出させて塗布面に液体を塗布する液体塗布装置であって、前記塗布面を横断し塗布面に沿って平行移動自在に配置される塗布腕と、前記塗布腕の内部を軸方向に延び前記液体が供給される液体供給路と、前記塗布腕の内部で、一端が前記液体供給路に連通し、他端が塗布腕の外面に開放されて前記吐出口となる多数の吐出路と、前記塗布腕の内部で、前記多数の吐出路と前記液体供給路との間にそれぞれ配置され、液体供給路から吐出路に向かう液体の流線に沿う形状を有する流線案内路とを備え、隣接する前記流線案内路同士が前記流体供給路側で互いに接して配置されている液体塗布装置。

IPC (5)：

B05C 5/00 , B05C 5/00 101 , B05B 1/20 101 , B05D 1/26 , H01J 9/227

FI (5)：

B05C 5/00 Z , B05C 5/00 101 , B05B 1/20 101 , B05D 1/26 Z , H01J 9/227 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-199106 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特公昭50-039696
特開平4-133243

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