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J-GLOBAL ID:200903098098372240
ガラスの研磨加工装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994086218
Publication number (International publication number):1995290349
Application date: Apr. 25, 1994
Publication date: Nov. 07, 1995
Summary:
【要約】【目的】 被加工物の研磨加工速度を上げると共に、研磨用加工液の処理が容易な研磨加工装置を提供する。【構成】 研磨用加工液11を用いて被加工物13の研磨加工を行うガラスの研磨加工装置1において、イオン交換機能を有しイオン交換によって研磨用加工液11を生成する加工液生成手段と、前記加工液生成手段で生成された研磨用加工液11を前記被加工物13に供給する加工液供給手段とを備える。【効果】 イオン交換によって生成した研磨用加工液を用いているので、研磨加工速度が上げられると共に、研磨用加工液の排水を容易に行うことができる。
Claim (excerpt):
研磨用加工液を用いて被加工物の研磨加工を行う研磨加工装置において、イオン交換機能を有しイオン交換によって研磨用加工液を生成する加工液生成手段と、前記加工液生成手段で生成された研磨用加工液を前記被加工物に供給する加工液供給手段とを備えたことを特徴とする研磨加工装置。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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研磨剤組成物及びそれを用いる研磨方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-204478
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平3-281165
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特開昭60-108260
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特開平3-281165
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特開昭60-108260
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