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J-GLOBAL ID：200903098111582829

セラミックヒータ

Inventor： 奥田 憲男
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998122588
Publication number (International publication number)：1999317283
Application date： May. 06, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】大型でかつ高温用のセラミックヒータ1であっても載置面3の温度バラツキを±1%以下に均熱化できるようにする。【解決手段】並列接続された2本以上の線状発熱体5からなる抵抗発熱群q1 ,q2 ,q3 ,・・・同士を連続的に接続した発熱パターンSをセラミック体2中に埋設してセラミックヒータ1を構成する。

Claim (excerpt)：

並列接続された2本以上の線状発熱体からなる抵抗発熱群を所要箇所に形成した発熱パターンをセラミック体中に埋設してなるセラミックヒータ。

IPC (5)：

H05B 3/18 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68

FI (5)：

H05B 3/18 ,  C23C 14/24 L ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/324 K ,  H01L 21/68 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 半導体ウエハー加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-201078   Applicant：日本碍子株式会社
• 特開昭63-248085