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J-GLOBAL ID：200903098282081216

3次元計測用光学装置

Inventor： 石原 満宏
Applicant, Patent owner： 株式会社高岳製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997055485
Publication number (International publication number)：1998239036
Application date： Feb. 25, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、スポットを物体に投影しその反射光の合焦情報を用いて物体の3次元計測を行う装置において、計測対象物体表面性状が粗面であっても高精度に3次元計測可能な手法を提供することを目的とする。【解決手段】 2次元配列型共焦点光学系Sからのマルチビームスポットを微小走査手段11により2次元検出器10の露光時間内に1画素程度走査することによりスペックルを平滑化してスペックルコントラストを低減する。

Claim (excerpt)：

少なくとも一つの対物レンズを通して一つ以上の微小なスポットを物体に投影し、物体からの反射光を同じ対物レンズにより集光し、集光した反射光を検出し、反射光の合焦情報から物体の表面位置を計測する光学装置において、反射光検出器の露光時間内に前記スポットを微小走査させる微小走査手段を備えたことを特徴とする3次元計測用光学装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G02B 21/00

FI (2)：

G01B 11/24 Z ,  G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• リアルタイム位相シフト干渉計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-349474   Applicant：工業技術院長, 株式会社応用計測研究所

Cited by examiner (1)

• リアルタイム位相シフト干渉計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-349474   Applicant：工業技術院長, 株式会社応用計測研究所