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J-GLOBAL ID：200903098302155963

感光性樹脂組成物のパターン加工方法

Inventor： 番場 敏夫 ,  竹田 敏郎
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995172478
Publication number (International publication number)：1997073176
Application date： Jul. 07, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【構成】 特定の構造のポリアミド、ジアゾキノン化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物を基板等に塗布し、プリベークを行い、光照射を行った後、アニオン性界面活性剤を含むアルカリ性水溶液で露光部を溶解除去して、パターンを得る感光性樹脂組成物のパターン加工方法。【効果】 アニオン性界面活性剤を含むアルカリ水溶液で現像すると、現像残り(スカム)が発生せず、非常に高解像度のパターン加工が可能である。

Claim (excerpt)：

下記式(1)で示されるポリアミド、【化1】ジアゾキノン化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物を基板等に塗布し、プリベークを行い、光照射を行った後、アニオン性界面活性剤を含むアルカリ性水溶液で露光部を溶解除去して、パターンを得ることを特徴とする感光性樹脂組成物のパターン加工方法。

IPC (5)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/30 569 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-165320   Applicant：住友ベークライト株式会社
• 特開平3-020743
  
• 特開昭55-138739