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J-GLOBAL ID：200903098431391592

照明装置

Inventor： 久保 泰康 ,  松永 喜久生 ,  柚木 三郎 ,  山田 晃久
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994153950
Publication number (International publication number)：1996022712
Application date： Jul. 05, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 近接し合う対向物があるような場合でも、この対向部での乱反射光の発生を防止して、精度よく検査できるように照明する。【構成】 照明対象物Aをまわりから照明する照明部Bを四角形なものとし、この四角形な各辺1の内面にこの内面から内側に向くほぼ平行な照明光2を作る指向性のある照明光源3を設け、必要に応じ、照明光源3の各辺ごとの照度を個別に制御する。

Claim (excerpt)：

照明対象物をまわりから照明する照明部を四角形なものとし、この四角形な各辺の内面にこの内面から内側に向くほぼ平行な照明光を作る指向性のある照明光源を設けたことを特徴とする照明装置。

IPC (3)：

F21V 19/02 ,  G02B 27/00 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-187612
  
• リード検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-093105   Applicant：株式会社日立製作所, 日立東部セミコンダクタ株式会社
• 特開平4-364404
  
• 特開平2-187612
  
• 特開平4-364404