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J-GLOBAL ID：200903098551762292
イオン源
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995064352
Publication number (International publication number)：1996264143
Application date： Mar. 23, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：
【要約】【構成】 フィラメント2と反射電極5とが、磁界の方向に対向して設けられ、フィラメント2を絶縁保持するフィラメントフィードスルー3の汚れ防止のためにフィラメントシールド9が設けられたバーナス型イオン源であって、プラズマ生成チャンバ1中においてスパッタ率が高いフィラメントシールド9を所望のイオン種を含む材料にて構成する。また、フィラメント2をイオン引出面の方向に曲げる。【効果】 イオン引出口8の近傍のプラズマ密度を局所的に高くすることができると共に、効率良くプラズマ中の所望イオン成分比を増加させることができ、アーク放電電圧を高めることなく、所望のイオンのビーム電流を増大させることができる。
Claim (excerpt)：
イオン引出し方向と直交する方向の磁界をプラズマ生成チャンバの内部に形成する磁界形成手段と、上記磁界の方向に対向して、プラズマ生成チャンバとは絶縁部材によって電気的に絶縁された状態でプラズマ生成チャンバ内にそれぞれ設けられた、熱電子を放出するフィラメント及び熱電子を反射する反射電極と、フィラメントとプラズマ生成チャンバとを電気的に絶縁する絶縁部材をプラズマ形成領域から隔離するためにプラズマ生成チャンバ内に設けられた仕切り板とを備え、所望のイオン種を含むガスをプラズマ生成チャンバ内へ導入しながら熱電子放出によるアーク放電によって導入ガスをプラズマ化し、プラズマ生成チャンバに形成されたイオン引出口からイオンを引き出してイオンビームを形成するイオン源において、上記仕切り板の少なくともフィラメント近傍部分が、所望のイオン種を含む材料にて構成されていることを特徴とするイオン源。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
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イオン源
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-010818
Applicant：日新電機株式会社
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