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J-GLOBAL ID：200903098656900550
写真画像形成の可能な液状レジスト
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995252277
Publication number (International publication number)：1996114917
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】【課題】 光感受性と総合的な物性との良好なバランスを示す液状塗工レジストの提供。【解決手段】 主成分として、バインダー、多官能価モノマー、光重合開始剤及び溶剤を含むフォトレジスト組成物を使用する。
Claim (excerpt)：
a)バインダー、b)多官能価モノマー、c)光重合開始剤、及びc)溶剤を含むレジスト材料であって、溶剤を除いた材料の10重量%以上の量で光重合開始剤が存在する、前記レジスト材料。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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