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J-GLOBAL ID：200903098656900550

写真画像形成の可能な液状レジスト

Inventor： デカイ ルー ,  リチャード ティー メイズ
Applicant, Patent owner： ハーキュリーズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995252277
Publication number (International publication number)：1996114917
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】【課題】 光感受性と総合的な物性との良好なバランスを示す液状塗工レジストの提供。【解決手段】 主成分として、バインダー、多官能価モノマー、光重合開始剤及び溶剤を含むフォトレジスト組成物を使用する。

Claim (excerpt)：

a)バインダー、b)多官能価モノマー、c)光重合開始剤、及びc)溶剤を含むレジスト材料であって、溶剤を除いた材料の10重量%以上の量で光重合開始剤が存在する、前記レジスト材料。

IPC (2)：

G03F 7/028 ,  H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-009018   Applicant：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-262702   Applicant：サンノプコ株式会社
• 感光性樹脂組成物、感光液組成物及び感光性フィルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-177715   Applicant：三井東圧化学株式会社
• 特開平4-353849
  
• 特開昭57-055914