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J-GLOBAL ID：200903099032974106

走査照明装置及び走査型露光装置

Inventor： 溝内 聡
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995235272
Publication number (International publication number)：1997082605
Application date： Sep. 13, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 コヒーレンス光源を有する走査照明装置において、干渉縞による照度の不均一性を低減する。【解決手段】 オプティカルインテグレーター5を加振手段20によって任意の方向に振動させることにより、基板16上の照度を均一化する。

Claim (excerpt)：

コヒーレント光源と、該コヒーレント光源を発した光が入射し、複数の2次光源を形成する2次光源形成手段とを有し、物体を該2次光源形成手段から出射した光に対して相対的に走査することにより、前記物体を照明する走査型照明装置において、前記2次光源形成手段を光軸に対して移動させる駆動手段を有することを特徴とする走査照明装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-141016   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭63-173322