インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994039539
Publication number (International publication number)：1995246705
Application date： Mar. 10, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：

【要約】【構成】圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造において、単結晶シリコン基板上に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、1200°Cから1400°Cの温度範囲に加熱して安定化した結晶相からなるジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることにより高特性とする。【効果】 700°C以上の高温でアニールを行なっても、鉛の拡散が防止でき、高い圧電ひずみ定数と高いヤング率を持つ圧電体薄膜素子を備えたインクジェット記録ヘッドを提供できた。

Claim (excerpt)：

圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造において、単結晶シリコン基板上に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、1200°Cから1400°Cの温度範囲に加熱して安定化した結晶相からなるジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平3-024275
圧電/電歪膜型素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-203831 Applicant：日本碍子株式会社
特表平5-504740

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