光モジュール及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大岩増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995107238
Publication number (International publication number)：1996304670
Application date： May. 01, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】位置合わせなしに光導波路を形成できる光モジュールを得ることを目的としている。【構成】半導体基板10に、レーザダイオード11を形成し、レーザ共振器端面13をドライエッチングにより形成したのち、第1〜第3の誘電体薄膜15、16、17を順次形成し、レーザダイオード11の発光部12を目印として、第1〜第3の誘電体薄膜を光導波路形状に加工する。【効果】光に対する損失が小さい誘電体薄膜を用いて、光軸合わせの調整なしに光導波路が形成できる。

Claim (excerpt)：

半導体基板、この半導体基板に形成された発光部を有するレーザダイオード、このレーザダイオードの発光部に整列するように上記半導体基板に形成された誘電体光導波路を備えたことを特徴とする光モジュール。

IPC (5)：

G02B 6/42 , G02B 6/122 , G02B 6/13 , H01L 31/0232 , H01S 3/18

FI (6)：

G02B 6/42 , H01S 3/18 , G02B 6/12 B , G02B 6/12 M , H01L 31/02 C , H01L 31/02 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭59-024807
石英系光導波路およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-247516 Applicant：東海ゴム工業株式会社
特開平1-202882

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