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J-GLOBAL ID：200903099159607382

静電アクチュエータ及び光走査装置

Inventor：
大高 剛一

About 大高 剛一


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 小島 俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005259998
Publication number (International publication number)：2006115683
Application date： Sep. 08, 2005
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：
【課題】 本発明は、電極配線構造の単純な1軸及び2軸偏向の静電アクチュエータ及び光走査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の静電アクチュエータは、保持部材に梁部材で支持され、保持部材の平面方向と垂直な方向に揺動可能とする可動部材と、梁部材が設けられていない可動部材と対向する保持部材に設けられ、可動部材及び梁部材に絶縁されている電極部とを具備している。そして、本発明の静電アクチュエータは、電極部間に駆動電圧を印加し、可動部材の平面に発生する駆動電圧の半分の電位差に相当するフローティング電位による静電引力によって可動部材を揺動させる。よって、可動部材への配線形成が不要となり電極配線構造が単純となる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
保持部材に梁部材で支持され、前記保持部材の平面方向と垂直な方向に揺動可能とする可動部材と、前記梁部材が設けられていない前記可動部材と対向する保持部材に設けられ、前記可動部材及び前記梁部材に絶縁されている電極部とを具備し、該電極部間に駆動電圧を印加し、前記可動部材の平面に発生する前記駆動電圧の半分の電位差に相当するフローティング電位による静電引力によって前記可動部材を揺動させることを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (4)：
H02N 1/00 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/10 ,  H04N 1/036
FI (4)：
H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10 104 ,  H04N1/036 Z
F-Term (12)：
2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  5C051CA06 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE26 ,  5C051FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特許第2,924,200号明細書
  • 光スキャナー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-239665   Applicant：キヤノン株式会社
  • 特許第3,011,144号明細書

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