Pat

J-GLOBAL ID：200903099512155776

表面形状の測定方法及びその装置

Inventor： 黒川 光太郎
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992285352
Publication number (International publication number)：1994109416
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】探針の実際形状よりもさらに精密な測定を可能とする。【構成】探針2を走査して被測定物3の表面形状を測定する測定方法において、先端部の中心軸Mを垂直方向に対して走査方向にφ度傾けることによって走査方向に対して一方側面2Aの傾斜角θを大ならしめた探針2を用いて測定する。また、先端部の中心軸Mを垂直方向に対して走査方向にφ度傾けて探針2を取付ける。【効果】探針を傾けることによって、一方側面の傾斜角が大とされた探針が構成され、この探針の先端角よりも急峻な段差、幅狭の溝等を有する被測定物の表面形状が正確に測定される。

Claim (excerpt)：

探針を走査して被測定物の表面形状を測定する表面形状の測定方法において、先端部の中心軸を垂直方向に対して走査方向に傾けることによって走査方向に対して一方側面の傾斜角を大ならしめた探針によって被測定物の表面を走査することを特徴とした表面形状の測定方法。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-181601
  
• 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-203757   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-062402