加速度センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993173018
Publication number (International publication number)：1995027784
Application date： Jul. 13, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】接着剤を用いることなく強固に接合された圧電セラミック板からなる検出素子を備えた加速度センサを提供する。【構成】主表面上に電極2,3が形成されて分極処理された一対の圧電セラミック板4を対面接合してなるバイモルフ型検出素子1を備えた加速度センサであって、バイモルフ型検出素子1は、主表面上に電極パターン6,7が印刷された一対の圧電セラミックグリーンシート5を重ね合わせ、かつ、これらを厚み方向に沿って加圧したうえで焼成した後、焼成によって得られたセラミック積層体のそれぞれに対する分極処理を行って作製されたものとなっている。

Claim (excerpt)：

主表面上に電極(2,3)が形成されて分極処理された一対の圧電セラミック板(4)を対面接合してなるバイモルフ型検出素子(1)を備えた加速度センサであって、バイモルフ型検出素子(1)は、主表面上に電極パターン(6,7)が印刷された一対の圧電セラミックグリーンシート(5)を重ね合わせ、かつ、これらを厚み方向に沿って加圧したうえで焼成した後、焼成によって得られたセラミック積層体のそれぞれに対する分極処理を行って作製されたものであることを特徴とする加速度センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭61-269072
加速度センサとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-158676 Applicant：日本航空電子工業株式会社

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