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J-GLOBAL ID：200903099811901247

チオール化合物およびそれを用いた感光性組成物

Inventor：
鎌田 博稔

About 鎌田 博稔

, 
大西 美奈

About 大西 美奈

, 
室伏 克己

About 室伏 克己


Applicant, Patent owner：
昭和電工株式会社

About 昭和電工株式会社


Agent (3)： 大家 邦久 ,  小澤 信彦 ,  林 篤史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005309592
Publication number (International publication number)：2006151959
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： Jun. 15, 2006
Summary：
【課題】高感度で、アルカリ現像時の細線パターンの線幅保持性、すなわち現像マージンに優れる感光性組成物を提供する。【解決手段】式(1)(式中、R1、R2およびnは明細書中の記載と同じ。)で示されるチオール化合物、その製造方法およびその化合物を用いた感光性組成物。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
式(1)
IPC (5)：
C07C 323/52 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G02B 5/20
FI (5)：
C07C323/52 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/027 511 ,  G02B5/20 101
F-Term (24)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC52 ,  2H025BC62 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA03 ,  2H025CA09 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4H006AB76
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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