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J-GLOBAL ID：200903099872388038

表面観察装置及び光変換器

Inventor：
大西 徹也

About 大西 徹也

, 
長坂 昭吾

About 長坂 昭吾


Applicant, Patent owner：
オムロン株式会社

About オムロン株式会社


Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002046926
Publication number (International publication number)：2003247959
Application date： Feb. 22, 2002
Publication date： Sep. 05, 2003
Summary：
【要約】【課題】 微小な検査対象物の表面観察(検査)に適した表面観察装置を提供する。【解決手段】 光源部7から赤色光、緑色光、青色光を出射させ、これらの光を光変換器8の光ファイバー束11a〜11cに入光させる。光変換器8は、複数本の光ファイバーを束ねた光ファイバー束11a〜11cを結束部12で束ね、光ファイバ束11a〜11cを構成する個々の光ファイバーをばらした後、ファイバーガイド13の内部で、光出射端を光ファイバ束11a〜11c毎に半径の異なる同心円状に再配置している。したがって、光変換器8から顕微鏡16の内部に出射される光は、中心部が赤色光、その外周部が緑色光、さらにその外周部が青色光の同心円状の光になる。この光を対物レンズ25を通して検査台18上の検査対象物27に向けて同軸落斜させる。検査対象物27は、カラーCCDカメラ19により観察される。
Claim (excerpt)：
複数の波長域の光を出射する光源部と、前記光源部から出射された光を受け取り、波長域の異なる光を異なる照射角度で対象物に照射すると共に、少なくとも1つの波長域の光を対象物に向けて同軸落射光として照射させる照明手段と、対象物で反射した各波長の光を識別して撮像する撮像手段と、を備えた表面観察装置。
IPC (5)：
G01N 21/956 ,  F21S 2/00 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  F21Y103:02
FI (6)：
G01N 21/956 B ,  G01N 21/84 E ,  F21Y103:02 ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 A ,  F21S 1/00 F
F-Term (33)：
2F065AA51 ,  2F065CC26 ,  2F065GG02 ,  2F065GG17 ,  2F065GG23 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL03 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB10 ,  2G051AB14 ,  2G051BA08 ,  2G051BA20 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB15 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051EA12 ,  2G051EA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-005204   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
  • 特開平1-313745
  • 特開昭61-029803
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Cited by examiner (4)
  • 検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-005204   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
  • 特開平1-313745
  • 特開昭61-029803
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