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J-GLOBAL ID：200903099983744925

静電チャック

Inventor： 石井 守 ,  丹治 清一 ,  塚本 恵三 ,  石本 博三 ,  鎌田 範幸
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社 ,  日本電子株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998026317
Publication number (International publication number)：1999214494
Application date： Jan. 26, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 吸着した被吸着体の汚染が少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 電極2と、その上に設けられた絶縁層3とを有し、電極2に電圧を印加することにより、絶縁層3上に被吸着体Wを静電吸着する静電チャックが構成される。絶縁層3の被吸着体W側の表面3aに、樹脂で構成された突起6が形成されている。

Claim (excerpt)：

電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層の前記被吸着体側の表面に、樹脂で構成された突起を有することを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 静電吸着装置及びそれを用いた電子ビーム露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-044423   Applicant：株式会社日立製作所