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J-GLOBAL ID:200903099983744925
静電チャック
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
高山 宏志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998026317
Publication number (International publication number):1999214494
Application date: Jan. 26, 1998
Publication date: Aug. 06, 1999
Summary:
【要約】【課題】 吸着した被吸着体の汚染が少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 電極2と、その上に設けられた絶縁層3とを有し、電極2に電圧を印加することにより、絶縁層3上に被吸着体Wを静電吸着する静電チャックが構成される。絶縁層3の被吸着体W側の表面3aに、樹脂で構成された突起6が形成されている。
Claim (excerpt):
電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層の前記被吸着体側の表面に、樹脂で構成された突起を有することを特徴とする静電チャック。
IPC (3):
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
FI (3):
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
Patent cited by the Patent:
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