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J-GLOBAL ID:200903099993349617

焦点検出装置及びこれを備えた顕微鏡装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大菅 義之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005231750
Publication number (International publication number):2007047447
Application date: Aug. 10, 2005
Publication date: Feb. 22, 2007
Summary:
【課題】 色収差レンズの調整を安価且つ容易に実現し、サンプルの屈折率や厚さの情報がなくても、透明膜や段差サンプルの観察において色収差レンズの再設定なしにAF機能を提供する。【解決手段】 制御部133は、対物レンズ105により生じる、顕微鏡光源110で発光させる観察用の照明光とLD120で発光させるAF用の測定光との色収差の補正が必要か否かの判定を行うと共に、当該判定の結果に応じ、色収差補正レンズ125を移動させて色収差を補正する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
照明光が投光された試料からの光を結像させて当該試料の像を得る観察光学系を有した顕微鏡に搭載される焦点検出装置において、 前記観察光学系内の対物レンズを通して焦点検出のための測定光が投光された前記試料からの反射光に基づいて、前記像を合焦させる制御を行う合焦制御手段と、 前記対物レンズによる前記照明光と前記測定光との色収差の補正が必要か否かの判定を行う判定手段と、 前記判定の結果に応じて前記色収差を補正する色収差補正手段と、 を有することを特徴とする焦点検出装置。
IPC (4):
G02B 7/28 ,  G02B 21/00 ,  H04N 5/225 ,  H04N 5/232
FI (5):
G02B7/11 N ,  G02B7/11 J ,  G02B21/00 ,  H04N5/225 C ,  H04N5/232 J
F-Term (36):
2H051AA11 ,  2H051BA24 ,  2H051BA33 ,  2H051CB02 ,  2H051CB05 ,  2H051CB23 ,  2H051CC03 ,  2H051CD12 ,  2H051CD29 ,  2H052AB05 ,  2H052AB06 ,  2H052AC04 ,  2H052AC07 ,  2H052AC18 ,  2H052AC22 ,  2H052AC27 ,  2H052AC28 ,  2H052AD03 ,  2H052AD09 ,  2H052AD20 ,  2H052AD33 ,  2H052AF01 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25 ,  5C122DA25 ,  5C122EA59 ,  5C122FB03 ,  5C122FB11 ,  5C122FB17 ,  5C122FD04 ,  5C122HA82 ,  5C122HA88 ,  5C122HB01 ,  5C122HB06 ,  5C122HB09 ,  5C122HB10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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