Art

J-GLOBAL ID：201002001452634480   Reference number：77A0105200

Deposition of hard and insulating carbonaceous films on an r.f. target in a butane plasma.

ブタンプラズマ中でrfターゲットに蒸着された硬い絶縁体炭素質薄膜

Author (2)： HOLLAND L ,  OJHA S M
Material： Thin Solid Films
Volume： 38  Issue： 2  Page： L17-L19  Publication year： 1976 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  CODEN： THSFA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ブタン ,...

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Terms in the title (8)： ブタン ,  プラズマ ,  Rf ,  ターゲット ,  蒸着 ,  絶縁体 ,  炭素質 ,  薄膜